据南方财富网概念查询工具数据显示，光刻清洗设备题材龙头有：
至纯科技（603690）：龙头股，3月21日消息，至纯科技资金净流出1845.24万元，超大单资金净流出849.08万元，换手率2.28%，成交金额2.23亿元。
至纯科技2023年报显示，至纯科技的净利润3.77亿，同比上年增长率为33.58%。
蓝英装备（300293）：龙头股，3月21日消息，资金净流入286.34万元，超大单资金净流入181.84万元，成交金额2.89亿元。
蓝英装备公司2023年实现营收14.42亿元，净利润-2098.11万元，毛利率27.17%。
北方华创（002371）：龙头股，3月21日该股主力净流出1.04亿元，超大单净流出8115.73万元，大单净流出2248.73万元，中单净流入1.04亿元，散户净流出9.73万元。
北方华创2023年公司营业总收入220.79亿，净利润为35.81亿元。
芯源微（688037）：龙头股，7月5日消息，资金净流出3121.63万元，超大单净流出2220.08万元，成交金额10亿元。
2023年芯源微公司营业总收入17.17亿，净利润为1.87亿元。
盛美上海（688082）：龙头股，7月18日消息，盛美上海7月18日主力净流出626.16万元，超大单净流入36万元，大单净流出662.16万元，散户净流出26.44万元。
2023年盛美上海实现营业收入38.88亿元，同比增长35.34%；归属母公司净利润9.11亿元，同比增长36.21%；扣除非经常性损益后归属母公司所有者的净利润为8.68亿元，同比增长25.77%。
光刻清洗设备板块股票其他的还有：
飞鹿股份300665：在近7个交易日中，飞鹿股份有4天上涨，期间整体上涨2.51%，最高价为7.42元，最低价为6.88元。和7个交易日前相比，飞鹿股份的市值上涨了3409.79万元。
和科达002816：在近7个交易日中，和科达有5天下跌，期间整体下跌5.41%，最高价为15.35元，最低价为14.39元。和7个交易日前相比，和科达的市值下跌了7400万元。
沃特股份002886：近7日股价下跌3.98%，2025年股价上涨16.27%。
南方财富网发布此信息的目的在于传播更多信息，与本站立场无关。不保证该信息（包括但不限于文字、视频、音频、数据及图表）全部或者部分内容的准确性、真实性、完整性、有效性、及时性、原创性等。相关信息并未经过本网站证实，不对您构成任何投资建议，据此操作，风险自担。
南方财富网声明：资讯仅代表作者个人观点。不保证该信息（包括但不限于文字、数据及图表）全部或者部分内容的准确性、真实性、完整性、有效性、及时性、原创性等，若有侵权，请第一时间告知删除。仅供投资者参考，并不构成投资建议。投资者据此操作，风险自担。