华特气体(688268):
公司的光刻气产品包括A/F/Ne、G/e、 Ar/Ne和K/任F/Ne混合气等,4种光刻气均为国内唯一供应商﹐通过全球最大的光刻机公司ASML产品认证。
凯美特气(002549):
公司生产芯片所需的超高纯气体和光刻气产品已通过多个国际头部企业的相关认证或审核,并建立合作。控股子公司凯美特光刻气产品获ASML子公司Cymer公司合格供应商认证。
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