量测设备有哪些上市公司？
中科飞测（688361）：
主营半导体检测与量测设备，产品主要包括无图形晶圆缺陷检测设备系列、图形晶圆缺陷检测设备系列、三维形貌量测设备系列、薄膜膜厚量测设备系列等产品；社保基金持有超68.13万股，2571家基金持有超2928万股。
5月12日消息，截至11时49分中科飞测跌2.18%，报78.790元，换手率1.24%，成交量303.38万手，成交额2.42亿元。
精测电子（300567）：
子公司上海精测膜厚产品（含独立式膜厚设备）已取得国内一线客户的批量重复订单，OCD量测设备已取得订单并已实现交付，首台半导体电子束检测设备eViewTM全自动晶圆缺陷复查设备已正式交付国内客户。子公司武汉精鸿主要聚焦自动检测设备领域，主要产品为存储芯片测试设备。
5月12日消息，精测电子(300567)开盘报61.7元，截至11时49分，该股涨0.25%报61.300元，换手率1.29% ，成交额1.61亿元。
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