据南方财富网概念查询工具数据显示，国产光刻机概念股龙头有：
福晶科技002222：国产光刻机龙头股，福晶科技公司2024年实现净利润2.19亿，同比增长4.65%，近三年复合增长为-1.69%；毛利率53.76%。
公司曾通过欧洲代理选ASML提供少量光学元件，控股61%的子公司福创光电开展衍射光学元件研究、生产，衍射光学元件是光刻机中一系列可动的镜片，主要用于产生光刻所需要的光源。
9月19日消息，福晶科技下午3点收盘报50.470元，涨10%，总市值为237.34亿元，换手率13.26%，10日内股价上涨15.22%。
茂莱光学688502：国产光刻机龙头股，茂莱光学公司2024年实现净利润3552.1万，同比增长-23.98%，近三年复合增长为-22.42%；毛利率48.41%。
截止9月19日15点茂莱光学（688502）涨3.93%，报460.100元/股，3日内股价上涨5.83%，换手率14.79%，成交额11.54亿元。
冠石科技605588：国产光刻机龙头股，冠石科技公司2024年实现净利润-1545.51万，同比增长-129.6%。
9月19日收盘短讯，冠石科技股价15时收盘涨1.62%，报价55.920元，市值达到41.08亿。
国产光刻机概念股其他的还有：
大族激光002008：9月19日消息，大族激光7日内股价上涨5.33%，最新报41.260元，市盈率为25.47。面板上游设备国产配套，国内激光设备龙头。
普利特002324：9月19日消息，普利特今年来上涨33.36%，截至15时，该股报14.300元，跌2.05%，换手率2.5%。间接参股苏州理硕科技，其涉及光刻胶研发。
奥普光电002338：9月19日消息，奥普光电开盘报价56.57元，收盘于58.220元，涨2.41%。当日最高价60.42元，市盈率207.93。公司子公司禹衡光学产品在国产高精度数控机床，特别是五轴加工中心、高精度磨床等已经实现批量应用。
华软科技002453：9月19日消息，华软科技7日内股价上涨9.61%，截至15点，该股报6.660元，涨10.08%，总市值为54.1亿元。公司光刻胶基材小批量订单。
百川股份002455：9月19日收盘消息，百川股份5日内股价上涨4.81%，今年来涨幅下跌-2.75%，最新报7.270元，涨1.96%，市盈率为40.39。中国企业独创的工艺，其产品质量完全能够满足国外各类客户的要求，在投资成本上只相当于国外同类投资的1/4左右，欧美和日本，韩国，台湾等企业已开始大量采购中国产品。
凯美特气002549：截止9月19日下午三点收盘凯美特气（002549）涨10.02%，报20.760元/股，3日内股价上涨13.05%，换手率19.85%，成交额27.52亿元。公司电子特气项目生产芯片所需的超高纯气体和光刻气产品具有较高的品质，并与多家头部企业建立合作。
东方嘉盛002889：9月19日东方嘉盛收盘消息，7日内股价上涨2.14%，今年来涨幅下跌-26.19%，最新报15.920元，涨2.25%，市值为60.12亿元。建设光刻机寄售维修保税仓库。
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