据南方财富网概念查询工具数据显示，薄膜沉积设备概念龙头股有：
中微公司688012：
薄膜沉积设备龙头股，近7个交易日，中微公司上涨14.18%，最高价为248.53元，总市值上涨了265.42亿元，2025年来上涨36.73%。
公司是一家以中国为基地、面向全球的高端半导体微观加工设备公司，深耕芯片制造刻蚀领域，研制出了国内第一台电介质刻蚀机，是集成电路设备行业的领先企业。公司专注于集成电路、LED关键制造设备，核心产品包括：1)用于IC集成电路领域的等离子体刻蚀设备(CCP、ICP)、深硅刻蚀设备(TSV)；2)用于LED芯片领域的MOCVD设备。公司等离子体刻蚀设备已被广泛应用于国际一线客户从65纳米到14纳米、7纳米和5纳米的集成电路加工制造及先进封装。公司的MOCVD设备在行业领先客户的生产线上大规模投入量产，公司已成为世界排名前列、国内占主导地位的氮化镓基LED设备制造商。
盛美上海688082：
薄膜沉积设备龙头股，近7日股价上涨22.34%，2025年股价上涨50.45%。
薄膜沉积设备概念股其他的还有：
国力股份688103：近5个交易日，国力电子期间整体上涨7.47%，最高价为74.6元，最低价为66.17元，总市值上涨了5.23亿。
中科飞测688361：近5个交易日股价上涨1.53%，最高价为123.21元，总市值上涨了5.72亿，当前市值为373.14亿元。
富创精密688409：近5个交易日股价上涨2.58%，最高价为77.33元，总市值上涨了5.88亿，当前市值为227.45亿元。
捷佳伟创300724：在近5个交易日中，捷佳伟创有4天上涨，期间整体上涨4.6%。和5个交易日前相比，捷佳伟创的市值上涨了16.1亿元，上涨了4.6%。
先锋精科688605：近5个交易日股价上涨3.14%，最高价为75.58元，总市值上涨了4.72亿。
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