据南方财富网概念查询工具数据显示，光刻机上市公司龙头股有：
张江高科600895：光刻机龙头股。
截止10月21日14时02分，张江高科(600895)涨1.54%，股价为45.770元，盘中股价最高触及44.95元，最低达43.57元，总市值708.84亿元。
10月22日该股主力净流入3.42亿元，超大单净流入2.29亿元，大单净流入1.13亿元，中单净流入1.44亿元，散户净流出4.86亿元。
雅克科技002409：光刻机龙头股。
10月22日开盘消息，雅克科技最新报价75.780元，3日内股价下跌0.08%，市盈率为41.38。
10月22日消息，雅克科技10月22日主力净流出7111.03万元，超大单净流出4659.39万元，大单净流出2451.64万元，散户净流入9202.92万元。
奥普光电002338：光刻机龙头股。
截止10月22日10时22分，奥普光电(002338)跌0.79%，股价为54.700元，盘中股价最高触及55.6元，最低达54.58元，总市值131.28亿元。
10月22日消息，奥普光电主力净流出2125.09万元，超大单净流出223.11万元，散户净流入2154.62万元。
芯源微688037：光刻机龙头股。
芯源微最新报价125.160元，7日内股价下跌12.3%；今年来涨幅上涨33.18%，市盈率为123.92。
10月22日消息，芯源微10月22日主力资金净流出7371.5万元，超大单资金净流出1353.05万元，大单资金净流出6018.45万元，散户资金净流入5891.26万元。
光刻机上市公司其他的还有：
长电科技600584：长电科技（600584）3日内股价2天上涨，上涨0.85%，最新报39.93元，2025年来下跌-2.33%。
旭光电子600353：回顾近3个交易日，旭光电子期间整体下跌1.51%，最高价为16.66元，总市值下跌了2.07亿元。2025年股价上涨56.37%。
东材科技601208：东材科技在近3个交易日中有3天上涨，期间整体上涨6.79%，最高价为19.85元，最低价为17.8元。2025年股价上涨61.51%。
上海机电600835：近3日上海机电上涨5.23%，现报24.59元，2025年股价上涨31.08%，总市值265.91亿元。
万业企业600641：近3日万业企业股价下跌0.1%，总市值下跌了19.36亿元，当前市值为187.52亿元。2025年股价上涨27.44%。
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