据南方财富网概念查询工具数据显示，光刻机零部件上市公司龙头股有：
炬光科技688167：光刻机零部件龙头。
10月22日收盘消息，炬光科技收盘于151.500元，跌0.51%。今年来涨幅上涨57.95%，总市值为136.14亿元。
10月23日消息，资金净流入3418.26万元，超大单资金净流出2742.34万元，成交金额4.77亿元。
福晶科技002222：光刻机零部件龙头。
10月22日消息，福晶科技收盘于45.200元，涨0.4%。7日内股价下跌3.14%，总市值为212.55亿元。
10月23日消息，福晶科技资金净流入4309.68万元，超大单资金净流入3946.43万元，换手率3.4%，成交金额7.26亿元。
富创精密688409：光刻机零部件龙头。
10月17日收盘消息，富创精密收盘于71.070元，跌6.16%。今年来涨幅上涨27.44%，总市值为217.62亿元。
10月23日主力资金净流出4158.14万元，超大单资金净流出3673.6万元，换手率1.16%，成交金额2.51亿元。
光刻机零部件上市公司其他的还有：
腾景科技688195：腾景科技（688195）3日内股价3天上涨，上涨9.61%，最新报118元，2025年来上涨64.82%。
茂莱光学688502：在近3个交易日中，茂莱光学有2天下跌，期间整体下跌1.34%，最高价为378元，最低价为360.16元。和3个交易日前相比，茂莱光学的市值下跌了2.59亿元。
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