据南方财富网概念查询工具数据显示，光刻受益股的上市公司有：
（1）、大族激光：
大族激光从近三年营收复合增长来看，近三年营收复合增长为-0.64%，过去三年营收最低为2023年的140.91亿元，最高为2022年的149.61亿元。
大族激光在互动平台表示，公司光刻机项目分辨率3-5μm，主要聚焦在分立器件、LED等领域的应用，已实现小批量销售。
近5个交易日，大族激光期间整体上涨12.69%，最高价为40.18元，最低价为34.43元，总市值上涨了51.69亿。
（2）、锐新科技：
从近三年营收复合增长来看，公司近三年营收复合增长为-9.87%，过去三年营收最低为2024年的6.22亿元，最高为2022年的7.66亿元。
公司的电子散热系统可用于光刻机。
近5个交易日，锐新科技期间整体上涨5.9%，最高价为16.29元，最低价为15.3元，总市值上涨了1.6亿。
（3）、华微电子：
从近三年营收复合增长来看，公司近三年营收复合增长为2.64%，过去三年营收最低为2023年的17.42亿元，最高为2024年的20.58亿元。
公司拥有一种光刻机设备用机械手装置、一种光刻版翻版机及光刻版翻版系统等专利。
在近5个交易日中，ST华微有4天上涨，期间整体上涨6.62%。和5个交易日前相比，ST华微的市值上涨了5.47亿元，上涨了6.62%。
（4）、亚威股份：
从近三年营收复合增长来看，亚威股份近三年营收复合增长为6.03%，过去三年营收最低为2022年的18.3亿元，最高为2024年的20.57亿元。
从事的主要业务包括金属成形机床业务、激光加工装备业务、智能制造解决方案业务。虽然不是单纯以光刻胶为主业，但可能是从产业链关联角度被列为光刻胶概念股。
回顾近5个交易日，亚威股份有3天上涨。期间整体上涨4.23%，最高价为10.54元，最低价为9.97元，总成交量9460万手。
（5）、江化微：
从公司近三年营收复合增长来看，近三年营收复合增长为8.19%，过去三年营收最低为2022年的9.39亿元，最高为2024年的10.99亿元。
公司生产的光刻胶配套试剂主要用于半导体和平板显示领域，为光刻胶生产企业提供重要的配套产品，是光刻胶产业链中的重要一环。
近5个交易日股价上涨0.59%，最高价为19.8元，总市值上涨了4242.01万。
（6）、中光学：
从中光学近三年营收复合增长来看，近三年营收复合增长为-26.29%，过去三年营收最低为2024年的17.85亿元，最高为2022年的32.85亿元。
公司业务暂未涉及光刻胶或光刻机相关领域。
近5个交易日，中光学期间整体上涨3.56%，最高价为23.7元，最低价为22.5元，总市值上涨了2.17亿。
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