据南方财富网概念查询工具数据显示，光刻工程概念股有：
泰晶科技603738：
在营业总收入方面，公司从2021年到2024年，分别为12.41亿元、9.16亿元、7.93亿元、8.21亿元。
近7个交易日，泰晶科技上涨2.18%，最高价为14.72元，总市值上涨了7656.94万元，2025年来上涨0.86%。
泰晶科技消息，公司最新研制的用于光刻工程的高精度配套设备―全自动晶圆调频及测选机，近日又取得新突破，该设备适用于光刻晶圆频率调整及分测，配合基于半导体技术的光刻制程量产及质量提升。这一设备的研制成功，不仅填补了行业空白，而且保证了关键性技术的保密性，为公司正在进行的大规模扩产提供了更优的方案。
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