据南方财富网概念库数据显示，光刻技术题材上市企业有：
芯碁微装：近3日股价上涨5.35%，2025年股价上涨56%。
公司2024年营收9.54亿，同比去年增长15.09%；毛利率36.98%。
苏大维格：近3日苏大维格下跌2.27%，现报29.98元，2025年股价上涨27.85%，总市值77.85亿元。
2024年报显示，苏大维格实现营收18.41亿，同比增长6.85%；净利润-5805万，同比增长-27.06%；毛利率18.22%。
惠伦晶体：ST惠伦近3日股价有2天下跌，下跌2.18%，2025年股价下跌-47.15%，市值为23.17亿元。
公司2024年总营收5.51亿，同比增长38.33%；净利润-1.89亿，同比增长-12.22%；销售毛利率4.98%。
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