据南方财富网概念查询工具数据显示，光刻机龙头有：
华特气体688268：
龙头，华特气体总营收近5年复合增长8.69%，净利润近5年复合增长14.78％。
4种光刻气体为国内唯一供应商，获ASML认证。
华特气体近7个交易日，期间整体上涨1.35%，最高价为58.53元，最低价为61.75元，总成交量2289.45万手。2025年来上涨24.31%。
飞凯材料300398：
龙头，飞凯材料公司营业收入近5年复合增长11.85%，净利润近5年复合增长1.77％，扣非净利润近5年复合增长7.21％。
回顾近7个交易日，飞凯材料有4天上涨。期间整体上涨3.44%，最高价为22.31元，最低价为23.79元，总成交量2.07亿手。
容大感光300576：
龙头，2024年实现营业收入9.49亿元，同比增长18.77%；归属母公司净利润1.22亿元，同比增长43.13%；扣除非经常性损益后归属母公司所有者的净利润为1.14亿元，同比增长43.63%。
近7个交易日，容大感光下跌3.71%，最高价为41.48元，总市值下跌了5.53亿元，2025年来下跌-11.06%。
上海电气601727：
龙头，上海电气2024年每股收益0.05元，净利润 7.52亿元，同比去年增长-6.33%。
近7个交易日，上海电气下跌1.17%，最高价为8.62元，总市值下跌了15.54亿元，下跌了1.17%。
安泰科技：12月24日安泰科技消息，该股15点收盘报20.220元，涨0.9%，换手率5.51%，成交量5696.11万手，今年来上涨44.86%。2020年6月3日公司在互动平台称，公司的钨合金产品用于某型号光刻机设备，是该型号光刻机的关键核心部件，尚属于市场开发阶段。
联合精密：12月22日开盘消息，联合精密今年来涨幅上涨53.48%，最新报37.530元，成交额1.2亿元。投资光刻机零部件铸件（但后续无实质性进展）。
国机精工：12月24日开盘消息，国机精工最新报44.910元，成交量4544.22万手，总市值为240.84亿元。公司研制的金刚石光学窗口片可用于光刻机高功率二氧化碳激光器窗口。
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