芯源微（688037）：龙头
12月25日消息，芯源微最新报149.140元，跌0.84%。成交量469.82万手，总市值为300.71亿元。
公司是国内唯一可提供量产型前道涂胶显影机的厂商，该设备与光刻机配合进行作业，是国产替代关键环节。
王子新材（002735）：龙头
12月25日开盘消息，王子新材最新报16.980元，涨0.59%。成交量4862.81万手，总市值为64.86亿元。
东方嘉盛（002889）：龙头
12月24日开盘消息，东方嘉盛3日内股价下跌0.12%，最新报16.520元，成交额1.43亿元。
光刻机概念股有哪些？
安泰科技（000969）：2020年6月3日公司在互动平台称，公司的钨合金产品用于某型号光刻机设备，是该型号光刻机的关键核心部件，尚属于市场开发阶段。
中旗新材（001212）：2025年6月3日投资者关系活动记录表显示，公司的产品主要定位于未来的先进封装技术，包括2.5D、3D封装，以及面向人工智能应用的芯片制造所需的特殊设备的设计、开发与制造。目前，星空科技已初步形成了光刻机系列、纳米压印系列、芯片键合系列、硅片键合系列以及光学检测系列等多个产品体系。
联合精密（001268）：公司在建工程包括年产3万吨空调压宿机零部件、汽车零部件、机器人零部件、光刻机零部件铸件项目。
国机精工（002046）：公司研制的金刚石光学窗口片可用于光刻机高功率二氧化碳激光器窗口。
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