中小板光刻机概念上市公司有东方中科、七匹狼、康达新材、东方嘉盛、海陆重工、*ST和科、紫光国微、联泓新科、普利特、华软科技等28家。根据《南方财富网概念库》股票工具数据整理，在市值上，截至9月24日，中小板光刻机概念上市公司市值排名情况如下：
NO.1、北方华创：4848.69万亿元
公司从事电子产品的研发、生产、销售和技术服务。
NO.2、大族激光：957.33万亿元
公司主营业务为激光加工及自动化系统集成设备制造。
NO.3、雅克科技：653.35万亿元
公司主营业务为主要从事磷酸酯阻燃剂和其他橡塑助剂的研发、生产和销售。
NO.4、中瓷电子：607.12万亿元
公司主要从事电子陶瓷系列产品研发、生产和销售。
NO.5、紫光国微：517.49万亿元
公司业务有集成电路芯片设计与销售。
NO.6、国机精工：354.42万亿元
公司从事轴承、电主轴的研发和生产。
NO.7、福晶科技：328.85万亿元
公司业务有光学晶体、晶体材料、激光器件。
NO.8、联泓新科：260.04万亿元
公司主营业务为高分子材料及特种化学品的研发、生产与销售。
NO.9、永太科技：156.9万亿元
公司业务有显示材料、环保材料。
NO.10、万润股份：122万亿元
公司业务有光电测控仪器设备及光学材料等产品的研发、生产与销售。
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