高纯工艺设备概念龙头有哪些？据南方财富网概念查询工具数据显示，高纯工艺设备概念龙头有：
至纯科技（603690）：高纯工艺设备龙头。
从公司近三年ROE来看，近三年ROE均值为5.06%，过去三年ROE最低为2024年的0.48%，最高为2023年的8.06%。
近30日股价上涨8.93%，2025年股价上涨6.62%。
国内高纯工艺系统及半导体装备领域主流合格供应商，国内高纯工艺系统与高纯工艺设备龙头。
高纯工艺设备股票其他的还有：
正帆科技（688596）：回顾近7个交易日，正帆科技有5天上涨。期间整体上涨6.47%，最高价为38.23元，最低价为41.68元，总成交量9716.31万手。
杭氧股份（002430）：近7个交易日，杭氧股份上涨3.79%，最高价为23.49元，总市值上涨了9.1亿元，2025年来上涨11.13%。
新莱应材（300260）：新莱应材近7个交易日，期间整体下跌0.13%，最高价为39.46元，最低价为41.39元，总成交量2.35亿手。2025年来上涨31.47%。
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