高纯工艺设备概念上市公司有哪些？据南方财富网概念查询工具数据显示，高纯工艺设备概念上市公司有：
正帆科技（688596）：
8月19日消息，正帆科技今年来涨幅上涨7.59%，最新报38.470元，跌1.26%，成交额3.92亿元。
杭氧股份（002430）：
8月19日消息，杭氧股份7日内股价上涨3.9%，最新报23.600元，市盈率为25.11。
新莱应材（300260）：
新莱应材最新报价39.580元，7日内股价上涨12.1%；今年来涨幅上涨31.56%，市盈率为70.68。
至纯科技（603690）：龙头
毛利率33.81%，净利率10.41%，去年全年净利润3.77亿，同比增长33.58%。
国内高纯工艺系统与高纯工艺设备龙头。
近30日股价上涨8.78%，2025年股价上涨5.35%。
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