据南方财富网概念查询工具数据显示，半导体设备龙头股上市公司有：
芯碁微装：龙头股。目前已为泛半导体及PCB客户提供性能优良、性价比高的先进直写光刻设备及综合解决方案。
9月5日消息，芯碁微装资金净流入2857.4万元，超大单净流入5862.86万元，换手率7.64%，成交金额13.1亿元。
9月5日，芯碁微装(688630)今日开盘报121.71元，收盘价为138.570元，涨13.85%，日换手率为7.64%，成交额为13.1亿元，近5日该股累计下跌3.2%。
华亚智能：龙头股。
9月5日资金净流入497.66万元，超大单净流入1244.24万元，换手率6.29%，成交金额2.56亿元。
华亚智能（003043）涨4.65%，报52.010元，成交额2.56亿元，换手率6.29%，振幅涨4.65%。
华海清科：龙头股。
资金流向数据方面，9月5日主力资金净流流入518.3万元，超大单资金净流入1211.37万元，大单资金净流出693.07万元，散户资金净流入1161.33万元。
9月5日消息，截至15时华海清科涨2.5%，报117.500元，换手率1.75%，成交量618.31万手，成交额7.14亿元。
半导体设备上市公司其他的还有：
隆基绿能：近7个交易日，隆基绿能上涨6.69%，最高价为16.41元，总市值上涨了91.69亿元，2025年来上涨13.2%。
双良节能：双良节能近7个交易日，期间整体上涨4%，最高价为5.76元，最低价为6.26元，总成交量5.55亿手。2025年来上涨12%。
三安光电：三安光电近7个交易日，期间整体下跌4.21%，最高价为14.8元，最低价为15.55元，总成交量10.43亿手。2025年来上涨17.32%。
三佳科技：在近7个交易日中，三佳科技有4天下跌，期间整体下跌4.89%，最高价为32.2元，最低价为29.85元。和7个交易日前相比，三佳科技的市值下跌了2.3亿元。
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