概念查询工具资金流向工具数据整理，截至2025年9月5日，半导体设备国产替代概念股主力净流入排名情况如下：
TOP1、晶盛机电主力净流入：3.39亿元
TOP2、腾景科技主力净流入：8214.51万元
TOP3、盛美上海主力净流入：5683.25万元
TOP4、奥普光电主力净流入：3927.25万元
TOP5、光力科技主力净流入：1384.23万元
TOP6、长川科技主力净流入：979.93万元
TOP7、至纯科技主力净流入：683.68万元
TOP8、华海清科主力净流入：518.3万元
TOP9、神工股份主力净流入：88.37万元
TOP10、芯源微主力净流入：74.5万元
TOP11、万业企业主力净流入：-149.19万元
TOP12、波长光电主力净流入：-515.87万元
TOP13、中科飞测主力净流入：-886.04万元
TOP14、华兴源创主力净流入：-1017.97万元
TOP15、拓荆科技主力净流入：-1199.99万元
TOP16、微导纳米主力净流入：-1229.56万元
TOP17、大族激光主力净流入：-1532.53万元
TOP18、福晶科技主力净流入：-2156.24万元
TOP19、华峰测控主力净流入：-3040.38万元
TOP20、张江高科主力净流入：-3068.31万元
晶盛机电（300316）
9月5日该股主力资金净流入3.39亿元，超大单资金净流入2.61亿元，大单资金净流入7874.11万元，中单资金净流出1.57亿元，散户资金净流出1.82亿元。9月5日开盘消息，晶盛机电5日内股价上涨12.97%，今年来涨幅上涨8.86%，最新报35.000元，涨18.24%，市盈率为18.23。
腾景科技（688195）
9月5日该股主力净流入8214.51万元，超大单净流入1.93亿元，大单净流出1.11亿元，中单净流出8912.71万元，散户净流入698.2万元。9月5日消息，腾景科技最新报价92.770元，3日内股价上涨9.4%；今年来涨幅上涨56.69%，市盈率为171.8。
盛美上海（688082）
9月7日该股主力净入5683.25万元，其中资金流入方面：超大单净入1.08亿元，大单净入2.04亿元，中单净入2.46亿元，散户净入1.29亿元；资金流出方面：超大单净出8421.73万元，大单净出1.71亿元，中单净出2.96亿元，散户净出1.36亿元。9月5日开盘消息，盛美上海5日内股价下跌9.9%，今年来涨幅上涨30.51%，最新报143.900元，涨2.06%，市盈率为54.51。
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