据南方财富网概念查询工具数据显示，高纯工艺设备概念龙头公司有以上几家：
至纯科技（603690）：
高纯工艺设备龙头，至纯科技9月16日收报28.390元，涨1.94，换手率7.47%。
公司已成功完成了多项高纯工艺系统核心设备及相关控制软件的研发，通过使用自制设备与软件替代外购，有效降低了生产成本。
回顾近30个交易日，至纯科技股价上涨11.94%，最高价为30.71元，当前市值为108.92亿元。
正帆科技（688596）：回顾近3个交易日，正帆科技有2天下跌，期间整体下跌1.44%，最高价为35.42元，最低价为36.55元，总市值下跌了1.49亿元，下跌了1.44%。
杭氧股份（002430）：杭氧股份近3日股价有1天上涨，上涨0.45%，2025年股价上涨9.92%，市值为236.76亿元。
新莱应材（300260）：近3日新莱应材股价下跌0.05%，总市值下跌了1.26亿元，当前市值为155.09亿元。2025年股价上涨28.77%。
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