据南方财富网概念查询工具数据显示，半导体清洗设备板块龙头股票有：
芯源微（688037）：
龙头股，9月21日该股主力净入-56.62万元，其中资金流入方面：超大单净入8453.56万元，大单净入2.11亿元，中单净入3.14亿元，散户净入2.07亿元；资金流出方面：超大单净出7751.86万元，大单净出2.18亿元，中单净出3.17亿元，散户净出2.04亿元。
芯源微公司2024年实现净利润2.03亿，同比增长-19.08%，近三年复合增长为0.66%；毛利率37.67%。
盛美上海（688082）：
龙头股，9月21日该股主力净入-2723.92万元，其中资金流入方面：超大单净入1.43亿元，大单净入2.69亿元，中单净入3.4亿元，散户净入1.58亿元；资金流出方面：超大单净出1.53亿元，大单净出2.86亿元，中单净出3.33亿元，散户净出1.38亿元。
2021年10月29日招股书显示公司主要从事半导体设备的研发、生产和销售，主要产品包括半导体清洗设备、半导体电镀设备和先进封装湿法设备等。
2024年报显示，盛美上海净利润11.53亿，毛利率48.86%，每股收益2.64元。
至纯科技（603690）：
龙头股，9月21日该股主力净入4594.76万元，其中资金流入方面：超大单净入7690.37万元，大单净入2.41亿元，中单净入3.12亿元，散户净入2.76亿元；资金流出方面：超大单净出6931.09万元，大单净出2.03亿元，中单净出2.8亿元，散户净出3.54亿元。
2024年，至纯科技公司实现净利润2359.75万，同比增长-93.75%，近三年复合增长为-71.1%；每股收益0.06元。
蓝英装备（300293）：
龙头股，9月21日该股主力净入6093.55万元，其中资金流入方面：超大单净入6085.57万元，大单净入2.29亿元，中单净入3.31亿元，散户净入2.27亿元；资金流出方面：超大单净出4399.56万元，大单净出1.85亿元，中单净出3.4亿元，散户净出2.78亿元。
2024年报显示，蓝英装备实现净利润-2175.89万，同比增长-3.71%，近四年复合增长为-31.96%；每股收益-0.06元。
富乐德（301297）：
龙头股，9月21日该股主力净入-1690.07万元，其中资金流入方面：超大单净入2294.93万元，大单净入1.06亿元，中单净入1.82亿元，散户净入1.23亿元；资金流出方面：超大单净出1869.68万元，大单净出1.27亿元，中单净出1.6亿元，散户净出1.29亿元。
2024年报显示，富乐德净利润1.09亿，毛利率39.76%，每股收益0.32元。
北方华创（002371）：
龙头股，9月21日该股主力净入8592.79万元，其中资金流入方面：超大单净入7.6亿元，大单净入14.1亿元，中单净入18.39亿元；资金流出方面：超大单净出8.78亿元，大单净出12.06亿元，中单净出19.22亿元，散户净出237.26万元。
2024年报显示，北方华创实现净利润56.21亿，同比上年增长率为44.17%，近5年复合增长79.88％。
半导体清洗设备板块股票其他的还有：
士兰微600460：士兰微近7个交易日，期间整体上涨2.07%，最高价为28.68元，最低价为32.07元，总成交量4.73亿手。2025年来上涨14.49%。
元成股份603388：回顾近7个交易日，ST元成有3天下跌。期间整体下跌1.65%，最高价为1.76元，最低价为2元，总成交量1.71亿手。
至正股份603991：回顾近7个交易日，至正股份有5天下跌。期间整体下跌5.42%，最高价为64.57元，最低价为67.98元，总成交量1599.94万手。
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