据南方财富网概念查询工具数据显示，高纯工艺设备上市公司龙头有：
至纯科技：
高纯工艺设备龙头。截至发稿，至纯科技（603690）涨1.32%，报29.100元，成交额8.47亿元，换手率7.6%，振幅涨1.32%。
公司深刻认识到高纯工艺系统质量对于客户产品良率的重要影响，在设备制造与工程安装全过程都制定了严密的质量控制体系。
高纯工艺设备概念上市公司其他的还有：
正帆科技：近7日正帆科技股价上涨3.15%，2025年股价上涨4.36%，最高价为38.15元，市值为108.88亿元。
杭氧股份：回顾近7个交易日，杭氧股份有4天下跌。期间整体下跌2.77%，最高价为24.03元，最低价为25.22元，总成交量6922.1万手。
新莱应材：新莱应材近7个交易日，期间整体上涨11.35%，最高价为38.01元，最低价为43.55元，总成交量2.45亿手。2025年来上涨36.88%。
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