据南方财富网概念查询工具数据显示，半导体清洗设备龙头股有：
盛美上海（688082）：半导体清洗设备龙头，
截至9月25日15时，盛美上海(688082)报183.350元，跌3.09%，当日最高价为186.5元，换手率1.92%，PE（市盈率）为69.45，成交额15.29亿元。
公司的前道半导体工艺设备包括清洗设备、半导体电镀设备、立式炉管系列设备、涂胶显影Track设备、PECVD设备、无应力抛光设备；后道先进封装工艺设备及硅材料衬底制造工艺设备等。公司清洗设备的国内市占率为23%。
北方华创（002371）：半导体清洗设备龙头，
9月25日消息，北方华创5日内股价上涨11.39%，最新报453.650元，成交量1747.34万手，总市值为3284.83亿元。
至纯科技（603690）：半导体清洗设备龙头，
9月25日消息，至纯科技最新报价29.690元，3日内股价下跌0.24%；今年来涨幅上涨15.43%，市盈率为478.87。
半导体清洗设备概念股其他的还有：
士兰微：9月25日消息，士兰微（600460）收盘涨0.25%，报31.540元/股，成交量8465.95万手，换手率5.09%，振幅涨0.25%。
元成股份：9月25日消息，ST元成开盘报价1.75元，收盘于1.710元。3日内股价下跌3.51%，总市值为5.57亿元。
至正股份：9月25日消息，至正股份7日内股价上涨1.48%，最新报64.880元，成交额4亿元。
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