据南方财富网概念查询工具数据显示，集成电路装备题材的上市企业有：
万业企业：9月30日消息，万业企业主力资金净流入1.06亿元，超大单资金净流入1.94亿元，散户资金净流出4699.36万元。
2025年第二季度季报显示，公司营收同比增长397.3%至5.07亿元；万业企业净利润为6129.2万，同比增长213.12%，毛利润为1.22亿，毛利率24.18%。
至纯科技：9月30日消息，资金净流入2.12亿元，超大单资金净流入2.58亿元，成交金额19.36亿元。
2025年第二季度季报显示，公司净利润2030.26万元，毛利率26.83%，每股收益0.08元。
耐科装备：9月30日消息，资金净流入566.5万元，超大单净流入20.78万元，成交金额9065.64万元。
2025年第二季度季报显示，公司营业收入同比增长34.44%至7219万元，净利润同比增长29.94%至1885.07万元。
晶盛机电：9月29日该股主力净入-7904.69万元，其中资金流入方面：超大单净入5.07亿元，大单净入11.72亿元，中单净入11.31亿元，散户净入6.94亿元；资金流出方面：超大单净出5.87亿元，大单净出11.71亿元，中单净出11.37亿元，散户净出6.09亿元。
2025年第二季度季报显示，晶盛机电公司营业总收入26.61亿，同比增长-52.8%；毛利润为5.49亿，净利润为3818.63万元。
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