据南方财富网概念查询工具数据显示，相关半导体设备零部件题材上市公司：
旭光电子：从公司近五年净利润复合增长来看，近五年净利润复合增长为17.62%，过去五年净利润最低为2020年的5353.95万元，最高为2024年的1.02亿元。
2024年半年报显示，公司开发的大功率电子管已成功运用于国产光刻机等半导体加工设备领域。
回顾近30个交易日，旭光电子股价上涨8.03%，总市值上涨了5.31亿，当前市值为152.96亿元。2025年股价上涨60.82%。
汉钟精机：从公司近五年净利润复合增长来看，近五年净利润复合增长为24.15%，过去五年净利润最低为2020年的3.63亿元，最高为2023年的8.65亿元。
回顾近30个交易日，汉钟精机股价上涨20.09%，总市值上涨了7.33亿，当前市值为145.07亿元。2025年股价上涨31.74%。
国力股份：从国力电子近三年净利润复合增长来看，近三年净利润复合增长为-40.5%，最高为2022年的8542.09万元。
近30日股价上涨10.84%，2025年股价上涨46.61%。
至纯科技：从近五年净利润复合增长来看，公司近五年净利润复合增长为-45.14%，过去五年净利润最低为2024年的2359.75万元，最高为2023年的3.77亿元。
拟定增募资不超18.6亿用于半导体晶圆再生二期等项目。
近30日股价上涨14.2%，2025年股价上涨19.67%。
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