据南方财富网概念查询工具数据显示，相关半导体设备零部件概念股有：
至纯科技603690：公司在高纯度工艺系统及半导体湿法清洗设备领域可以做到较好的国产替代。
近30日至纯科技股价上涨20.59%，最高价为34.3元，2025年股价上涨24.84%。
旭光电子600353：子公司储翰科技是国内唯一依靠自主研发光电器件自动化生产设备能力的企业。
回顾近30个交易日，旭光电子股价上涨19.56%，总市值上涨了16.35亿，当前市值为157.45亿元。2025年股价上涨61.94%。
正帆科技688596：拟5900万元与多方投资人共同对鸿舸半导体实施增资扩股。
近30日股价上涨14.87%，2025年股价上涨21.33%。
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