据南方财富网概念查询工具数据显示，半导体设备精密零部件相关的上市公司有：
新莱应材：
从新莱应材近五年ROTA来看，近五年ROTA均值为6.21%，过去五年ROTA最低为2020年的3.5%，最高为2022年的10.42%。
在近7个交易日中，新莱应材有5天上涨，期间整体上涨45.37%，最高价为78.07元，最低价为40.84元。和7个交易日前相比，新莱应材的市值上涨了138.37亿元。
至纯科技：
从至纯科技近五年ROTA来看，近五年ROTA均值为3.09%，过去五年ROTA最低为2024年的-0.44%，最高为2020年的5.66%。
近7个交易日，至纯科技上涨27.53%，最高价为28.88元，总市值上涨了42.7亿元，2025年来上涨37.89%。
正帆科技：
从近五年ROTA来看，正帆科技近五年ROTA均值为5.78%，过去五年ROTA最低为2021年的5.31%，最高为2024年的6.53%。
近7日正帆科技股价上涨11.55%，2025年股价上涨22.7%，最高价为49.8元，市值为134.72亿元。
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