据南方财富网概念查询工具数据显示，半导体设备概念龙头股有：
中微公司688012：
半导体设备龙头。10月16日消息，中微公司（688012）收盘涨0.15%，报274.400元/股，成交量1567.27万手，换手率2.5%，振幅涨0.15%。
10月16日消息，资金净流出964.05万元，超大单净流入7267.54万元，成交金额42.99亿元。
华海清科688120：
半导体设备龙头。10月14日消息，华海清科截至15点，该股跌8.23%，报149.370元，5日内股价下跌9.79%，总市值为527.88亿元。
10月16日该股主力净流出794.99万元，超大单净流入914.69万元，大单净流出1709.68万元，中单净流出4148.57万元，散户净流入4943.56万元。
至正股份603991：
半导体设备龙头。10月13日消息，至正股份最新报价64.990元，3日内股价上涨0.94%；今年来涨幅上涨19.68%，市盈率为-158.63。
10月16日消息，至正股份资金净流入88.05万元，超大单资金净流出23.66万元，换手率1.91%，成交金额9288.01万元。
万业企业600641：
半导体设备龙头。截至15时，万业企业跌2.91%，股价报21.860元，成交3759.12万股，成交金额8.27亿元，换手率4.04%，最新A股总市值达203.44亿元，A股流通市值203.44亿元。
10月16日消息，资金净流出3277.8万元，超大单资金净流出2561.74万元，成交金额8.27亿元。
半导体设备概念股其他的还有：
隆基绿能：回顾近5个交易日，隆基绿能有3天上涨。期间整体上涨9.14%，最高价为20.35元，最低价为18.26元，总成交量17.21亿手。
大恒科技：在近5个交易日中，大恒科技有3天上涨，期间整体上涨1.26%。和5个交易日前相比，大恒科技的市值上涨了7862.4万元，上涨了1.26%。
双良节能：近5个交易日，双良节能期间整体上涨11.06%，最高价为7.05元，最低价为6.09元，总市值上涨了14.24亿。
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