半导体设备精密零部件板块上市公司股票有哪些？据南方财富网概念查询工具数据显示，半导体设备精密零部件板块上市公司股票有：
有研新材：截止10月20日15时收盘，有研新材(600206)涨0.36%，股价为22.420元，盘中股价最高触及23元，最低达22.14元，总市值189.8亿元。
近30日股价下跌1.47%，2025年股价上涨30.11%。
至纯科技：10月20日收盘消息，收盘于34.680元。5日内股价下跌16.58%，总市值为133.05亿元。
公司在高纯度工艺系统及半导体湿法清洗设备领域可以做到较好的国产替代。
近30日至纯科技股价上涨22.46%，最高价为40.43元，2025年股价上涨27.6%。
神工股份：截止15时，神工股份报45.110元，跌0.66%，总市值76.82亿元。
回顾近30个交易日，神工股份上涨18.95%，最高价为54.62元，总成交量3.11亿手。
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