据南方财富网概念查询工具数据显示，半导体设备材料概念股有：
中微公司：10月21日消息，中微公司截至14时35分，该股涨2.21%，报269.680元；5日内股价下跌1.6%，市值为1688.59亿元。
半导体刻蚀机龙头，面向全球的高端半导体微观加工设备公司。
回顾近30个交易日，中微公司股价上涨17.24%，总市值下跌了27.05亿，当前市值为1688.59亿元。2025年股价上涨29.86%。
北方华创：10月21日，北方华创开盘报402.72元，截至12时13分，报408.490元，成交额30.71亿元，换手率1.04%，市值为2957.83亿元。
公司产品竞争力持续提升，有望受益于半导体设备的国产替代进程。
回顾近30个交易日，北方华创上涨7.5%，最高价为473.66元，总成交量3.5亿手。
沪硅产业：10月21日消息，截至收盘沪硅产业涨1.32%，报24.620元，换手率1.42%，成交量3890.91万手，成交额9.57亿元。
沪硅产业在近30日股价上涨13.32%，最高价为29.97元，最低价为21.21元。当前市值为676.36亿元，2025年股价上涨23.56%。
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