据南方财富网概念查询工具数据显示，高纯工艺设备概念龙头股有：
至纯科技603690：
高纯工艺设备龙头股，至纯科技近7个交易日，期间整体下跌16.24%，最高价为36.39元，最低价为40.03元，总成交量4.79亿手。2025年来上涨21.11%。
公司已成功完成了多项高纯工艺系统核心设备及相关控制软件的研发，通过使用自制设备与软件替代外购，有效降低了生产成本。
高纯工艺设备概念股其他的还有：
正帆科技688596：回顾近5个交易日，正帆科技有5天下跌。期间整体下跌7.12%，最高价为43.48元，最低价为41.45元，总成交量5363.27万手。
杭氧股份002430：近5个交易日股价上涨1.3%，最高价为25.87元，总市值上涨了3.13亿，当前市值为240.48亿元。
新莱应材300260：在近5个交易日中，新莱应材有2天下跌，期间整体下跌3.49%。和5个交易日前相比，新莱应材的市值下跌了8.16亿元，下跌了3.49%。
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