据南方财富网概念查询工具数据显示，半导体装备概念股龙头有：
芯源微688037：半导体装备龙头
2025年第二季度季报显示，公司营业总收入同比增长-3.47%至4.34亿元；净利润为1126.42万，同比增长-81.27%，毛利润为1.63亿，毛利率37.51%。
2025年第二季度季报显示，芯源微公司实现总营收4.34亿，毛利率37.51%，每股收益0.06元。
拓荆科技688072：半导体装备龙头
2025年第二季度，拓荆科技公司营业总收入同比增长56.64%至12.45亿元；净利润为2.41亿，同比增长103.37%，毛利润为4.84亿，毛利率38.82%。
2025年第二季度季报显示，拓荆科技公司实现营业总收入12.45亿元，毛利率38.82%，净利润为2.18亿元。
万业企业600641：半导体装备龙头
2025年第二季度，公司营业总收入同比增长397.3%至5.07亿元；净利润为6129.2万，同比增长213.12%，毛利润为1.22亿，毛利率24.18%。
2025年第二季度季报显示，万业企业公司实现总营收5.07亿，毛利率24.18%，每股收益0.07元。
半导体装备概念股其他的还有：
机器人：10月27日消息，机器人截至09时32分，该股跌0.37%，报18.590元；5日内股价上涨2.1%，市值为291.05亿元。
精测电子：10月27日消息，精测电子今年来涨幅上涨16.16%，最新报76.690元，涨1.39%，成交额6.27亿元。
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