据南方财富网概念查询工具数据显示，集成电路装备概念股票有：
晶盛机电：
近5个交易日，晶盛机电期间整体上涨1.1%，最高价为42.43元，最低价为39.72元，总市值上涨了5.89亿。
普利特：
上海市青浦区赵巷镇沪青平公路2855弄1号12楼。
近5个交易日股价上涨4.09%，最高价为13.7元，总市值上涨了6.23亿。
炬光科技：
在近5个交易日中，炬光科技有3天上涨，期间整体上涨7.07%。和5个交易日前相比，炬光科技的市值上涨了10.36亿元，上涨了7.07%。
至纯科技：
国内能提供到28纳米节点全部湿法工艺的本土供应商；公司目前80%的业务服务于集成电路领域，主营业务主要包括半导体制程设备、系统集成及支持设备的研发和生产销售，以及由此衍生的部件材料及专业服务；公司为半导体及相关高科技新兴产业客户提供湿法工艺整体解决方案。
近5个交易日股价上涨7.34%，最高价为34.68元，总市值上涨了9.67亿。
中微公司：
在近5个交易日中，中微公司有5天上涨，期间整体上涨9.93%。和5个交易日前相比，中微公司的市值上涨了184.46亿元，上涨了9.93%。
华海清科：
在近5个交易日中，华海清科有4天上涨，期间整体上涨5.02%。和5个交易日前相比，华海清科的市值上涨了26.68亿元，上涨了5.02%。
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