据南方财富网概念查询工具数据显示，极紫外光刻相关上市公司有：
大恒科技：
总股本4.37万股，流通A股4.37万股，每股收益-0.07元。
2018年大恒科技光电所承担的科技部重大仪器专项“基于飞秒激光的太赫兹时域光谱仪”、“软X射线/极紫外无谐波光栅单色仪”项目完成预验收工作，已报正式验收流程。
汉钟精机：10月30日收盘消息，汉钟精机开盘报25.18元，截至15点，该股跌2.17%，报24.300元，总市值为129.94亿元，PE为15.06。
汉钟精机总股本5.35万股，流通A股5.31万股，每股收益1.61元。
20年7月，公司在互动平台表示：公司真空泵可用于极紫外光刻，且一直在积极推进中在该行业的使用。
奥普光电：根据数据显示，奥普光电股票在10月30日15点跌3.28%，报价为53.740元。当日成交额达到3.69亿元，换手率2.83%，总市值为128.98亿元。
总股本2.4万股，流通A股2.4万股，每股收益0.28元。
中国科学院长春光机所旗下唯一控股上市企业，国内高端光栅编码器企业，潜在用途包括光刻机。禹衡光学半导体领域光栅尺完成小批量验证。
数据由南方财富网提供，仅供参考，不构成投资建议，据此操作，风险自担。股市有风险，投资需谨慎。
南方财富网声明：资讯仅代表作者个人观点。不保证该信息（包括但不限于文字、数据及图表）全部或者部分内容的准确性、真实性、完整性、有效性、及时性、原创性等，若有侵权，请第一时间告知删除。仅供投资者参考，并不构成投资建议。投资者据此操作，风险自担。