据南方财富网概念查询工具数据显示，半导体设备零部件概念股票有：
万业企业：
子公司凯世通半导体离子注入机已涵盖28nm、14nm、7nm工艺，未来国内外客户突破可期。
近7个交易日，万业企业下跌8.89%，最高价为19.5元，总市值下跌了14.89亿元，2025年来上涨18.78%。
汉钟精机：
近7个交易日，汉钟精机下跌2.31%，最高价为24.65元，总市值下跌了2.99亿元，2025年来上涨23.57%。
旭光电子：
子公司储翰科技是国内唯一依靠自主研发光电器件自动化生产设备能力的企业。
近7个交易日，旭光电子下跌6.48%，最高价为16.59元，总市值下跌了8.71亿元，下跌了6.48%。
至纯科技：
国内高纯工艺系统与高纯工艺设备龙头。
近7个交易日，至纯科技下跌10%，最高价为32.9元，总市值下跌了11.59亿元，2025年来上涨16.85%。
数据由南方财富网提供，仅供参考，不构成投资建议，股市有风险，投资需谨慎，据此操作，风险自担。
南方财富网声明：资讯仅代表作者个人观点。不保证该信息（包括但不限于文字、数据及图表）全部或者部分内容的准确性、真实性、完整性、有效性、及时性、原创性等，若有侵权，请第一时间告知删除。仅供投资者参考，并不构成投资建议。投资者据此操作，风险自担。