据南方财富网概念查询工具数据显示，相关集成电路装备受益上市公司有：
1、万业企业：
公司于2018年收购离子注入机龙头凯世通，凯世通是国际领先的集成电路装备制造企业，近期，万业企业连同大股东浦科投资引入了碧桂园创投，联合宁波芯恩以各自拥有的集成电路领域资源为契机，进一步开展深度合作。
从近三年营收复合增长来看，近三年营收复合增长为-29.13%，过去三年营收最低为2024年的5.81亿元，最高为2022年的11.58亿元。
在近5个交易日中，先导基电有3天下跌，期间整体下跌3.04%。和5个交易日前相比，先导基电的市值下跌了4.84亿元，下跌了3.04%。
2、至纯科技：
2025年2月27日公告，公司拟通过发行股份及支付现金的方式购买贵州威顿晶磷电子材料股份有限公司83.7775%股权并募集配套资金。威顿晶磷是专业的电子材料集成供应商，主要从事电子材料的研发、生产及销售。主要产品包括集成电路先进制程晶圆制造和光伏电池片制造中所用到的各类前驱体、掺杂剂、以及其他超高纯电子化学品。
从近三年扣非净利润复合增长来看，过去三年扣非净利润最低为2024年的-5740.7万元，最高为2022年的2.85亿元。
近5个交易日，至纯科技期间整体下跌3.56%，最高价为30.39元，最低价为29.65元，总市值下跌了3.91亿。
3、中微公司：
从公司近三年扣非净利润复合增长来看，近三年扣非净利润复合增长为22.87%，过去三年扣非净利润最低为2022年的9.19亿元，最高为2024年的13.88亿元。
近5日股价下跌3.69%，2025年股价上涨33.29%。
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