据南方财富网概念查询工具数据显示，高纯工艺设备龙头有：
至纯科技：高纯工艺设备龙头股。2025年第二季度季报显示，至纯科技公司实现总营收8.8亿，毛利率26.83%，每股收益0.08元。
回顾近3个交易日，至纯科技期间整体下跌5.52%，最高价为29.2元，总市值下跌了5.87亿元。2025年股价上涨9.45%。
其他高纯工艺设备概念股：
正帆科技：近5个交易日，正帆科技期间整体下跌3.26%，最高价为29.95元，最低价为29.37元，总市值下跌了2.72亿。
杭氧股份：在近5个交易日中，杭氧股份有4天下跌，期间整体下跌14.7%。和5个交易日前相比，杭氧股份的市值下跌了37.47亿元，下跌了14.7%。
新莱应材：近5个交易日股价上涨1.23%，最高价为56.4元，总市值上涨了2.65亿。
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