据南方财富网概念库数据显示，集成电路装备概念股有：
盛美上海：11月28日消息，盛美上海(688082)开盘报154.01元，截至15点，该股涨1.66%报157.880元。当前市值758.08亿。
近7个交易日，盛美上海下跌1.91%，最高价为160.45元，总市值下跌了14.5亿元，2025年来上涨36.66%。
从近五年净利率来看，公司近五年净利率均值为20.64%，过去五年净利率最低为2021年的16.43%，最高为2023年的23.42%。
北方华创：11月28日消息，北方华创今年来上涨8.62%，截至15时，该股报427.900元，涨1.4%，换手率1.07%。
回顾近7个交易日，北方华创有5天上涨。期间整体上涨5.35%，最高价为404.18元，最低价为434.5元，总成交量5887.91万手。
从近三年ROTA来看，公司近三年ROTA均值为8.26%，过去三年ROTA最低为2022年的6.9%，最高为2024年的9.49%。
炬光科技：
近7个交易日，炬光科技上涨10.57%，最高价为125.59元，总市值上涨了13.58亿元，2025年来上涨55.44%。
炬光科技从近五年净利润来看，近五年净利润均值为2907.24万元，过去五年净利润最低为2024年的-1.75亿元，最高为2022年的1.27亿元。
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