据南方财富网概念查询工具数据显示，半导体装备概念龙头上市公司有：
中微公司688012：龙头股，
回顾近3个交易日，中微公司有1天下跌，期间整体下跌0.8%，最高价为266.25元，最低价为278.5元，总市值下跌了13.46亿元，下跌了0.8%。
芯源微688037：龙头股，
芯源微近3日股价有2天上涨，上涨0.96%，2025年股价上涨33.14%，市值为253.53亿元。
沈阳芯源微电子设备股份有限公司主要从事半导体设备的研发、生产和销售，产品包括光刻工序涂胶显影设备(涂胶/显影机、喷胶机)和单片式湿法设备(清洗机、去胶机、湿法刻蚀机)，产品可用于6英寸及以下单晶圆处理(如LED芯片制造环节)及8/12英寸单晶圆处理(如集成电路制造前道晶圆加工及后道先进封装环节)。
半导体装备概念股其他的还有：
机器人300024：近7日机器人股价下跌0.06%，2025年股价下跌-5.03%，最高价为17.45元，市值为270.23亿元。
精测电子300567：精测电子近7个交易日，期间整体上涨0.33%，最高价为66.6元，最低价为68.93元，总成交量3235.12万手。2025年来上涨4.07%。
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