据南方财富网概念查询工具数据显示，半导体设备行业股票龙头有：
至正股份（603991）：半导体设备龙头，2024年10月23日公告，公司拟通过重大资产置换、发行股份及支付现金的方式直接及间接取得目标公司AAMI之99.97%股权并置出上市公司全资子公司至正新材料100%股权，并募集配套资金。目预计本次交易将构成上市公司重大资产重组。AAMI系全球前五的半导体引线框架供应商，产品广泛覆盖全球主流的头部半导体IDM厂商和封测代工厂。
从近五年净利润复合增长来看，至正股份近五年净利润复合增长为-10.73%，过去五年净利润最低为2021年的-5342.93万元，最高为2022年的-1682.06万元。
至正股份（603991）3日内股价2天上涨，上涨6.01%，2025年来上涨29.93%。
拓荆科技（688072）：半导体设备龙头，
从拓荆科技近五年净利润复合增长来看，过去五年净利润最低为2020年的-1148.9万元，最高为2024年的6.88亿元。
拓荆科技在近3个交易日中有1天上涨，期间整体上涨0.6%，最高价为312.28元，最低价为289.3元。2025年股价上涨47.33%。
芯源微（688037）：半导体设备龙头，
芯源微从近五年净利润复合增长来看，近五年净利润复合增长为42.76%，过去五年净利润最低为2020年的4882.86万元，最高为2023年的2.51亿元。
芯源微近3日股价有2天上涨，上涨5.49%，2025年股价上涨34.09%，市值为250.7亿元。
其他半导体设备行业股票还有：
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