据南方财富网概念查询工具数据显示，半导体装备龙头股有：
晶盛机电（300316）：半导体装备龙头，
11月25日开盘消息，晶盛机电截至13时54分，该股报35.470元，涨0.58%，7日内股价上涨2.48%，总市值为464.49亿元。
公司于2021年10月25日晚发布向特定对象发行股票预案，拟募资57亿元用于碳化硅衬底晶片生产基地项目、12英寸集成电路大硅片设备测试实验线项目、年产80台套半导体材料抛光及减薄设备生产制造项目和补充流动资金。碳化硅衬底晶片生产基地项目总投资33.6亿元，将年产40万片6英寸及以上尺寸的导电型和半绝缘型碳化硅衬底晶片。
中微公司（688012）：半导体装备龙头，
12月3日讯息，中微公司3日内股价下跌0.98%，市值为1624.72亿元，涨0.75%，最新报259.480元。
北方华创（002371）：半导体装备龙头，
12月3日北方华创消息，该股13时17分报433.850元，涨0.44%，换手率0.56%，成交量403.37万手，今年来上涨9.88%。
半导体装备概念股其他的还有：
机器人：截止11月28日收盘机器人（300024）涨0.71%，报16.720元/股，3日内股价下跌3.47%，换手率0.95%，成交额2.48亿元。
精测电子：11月24日精测电子开盘消息，7日内股价上涨2.65%，今年来涨幅上涨4.67%，最新报67.450元，涨2.77%，市值为188.69亿元。
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