概念库股票工具数据整理，截至12月12日，集成电路装备概念上市公司成交量排行榜前十依次是：长川科技、先导基电、四川双马、中微公司、晶盛机电、至纯科技、华海清科、拓荆科技、北方华创、炬光科技。
第一、长川科技3781.79万手
12月3日消息，长川科技5日内股价上涨3.98%，最新报93.820元，成交量3781.79万手，总市值为595.2亿元。
第二、万业企业2071.75万手
12月12日先导基电开盘报价16.77元，收盘于16.680元，跌0.6%。当日最高价为16.88元，最低达16.38元，成交量2071.75万手，总市值为155.23亿元。
第三、四川双马1111.09万手
12月5日消息，四川双马5日内股价上涨1.12%，最新报24.670元，成交量1111.09万手，总市值为188.34亿元。
第四、中微公司1110.26万手
12月12日消息，中微公司5日内股价下跌2.16%，最新报274.250元，成交量1110.26万手，总市值为1717.2亿元。
第五、晶盛机电1098.7万手
12月5日收盘消息，晶盛机电最新报36.050元，成交量1098.7万手，总市值为472.09亿元。
第六、至纯科技967.69万手
12月12日收盘消息，至纯科技最新报29.430元，涨0.51%。成交量967.69万手，总市值为112.71亿元。
第七、华海清科705.81万手
12月12日收盘消息，华海清科最新报155.300元，成交量705.81万手，总市值为549.22亿元。
第八、拓荆科技654.11万手
12月12日拓荆科技开盘报价314元，收盘于344.670元，涨8.62%。当日最高价为353.09元，最低达312元，成交量654.11万手，总市值为969.09亿元。
第九、北方华创555.38万手
12月12日收盘消息，北方华创最新报455.210元，成交量555.38万手，总市值为3297.89亿元。
第十、炬光科技512.46万手
12月5日收盘消息，炬光科技最新报165.290元，涨11.91%。成交量512.46万手，总市值为148.53亿元。
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