据南方财富网概念库数据显示，相关半导体设备精密零部件概念股票有：
1、至纯科技603690：12月31日股市消息，至纯科技（603690）开盘报31.450元/股，涨5.64%。公司股价冲高至32.5元，最低达29.61元，换手率11.39%。
公司在ROE方面，从2021年到2024年，分别为8.1%、6.65%、8.06%、0.48%。
新凯来核心供应商，为其提供半导体清洗湿法工艺设备，双方在半导体设备供应链中深度绑定。
2、新莱应材300260：12月31日新莱应材消息，7日内股价下跌1.23%，该股最新报56.890元涨3.95%，成交总金额16.39亿元，市值为232亿元。
公司在ROE方面，从2021年到2024年，分别为14.28%、24.07%、13.91%、12.05%。
公司拥有开发设计、精密机械加工、表面处理、精密焊接、洁净室清洗与包装等一系列核心技术，是目前国内同行业中少数拥有完整技术体系的厂商之一，在国际同行业中处于先进水平。
3、正帆科技688596：12月31日消息，正帆科技资金净流出2998.43万元，超大单资金净流入134.07万元，最新报31.630元，换手率5.5%，成交总金额5.13亿元。
公司在ROE方面，从2021年到2024年，分别为9.46%、12.9%、14.88%、16%。
拟5900万元与多方投资人共同对鸿舸半导体实施增资扩股。
4、华亚智能003043：12月31日消息，华亚智能7日内股价上涨1.06%，最新报46.370元，市盈率为48.3。
华亚智能在ROE方面，从2021年到2024年，分别为15.5%、16.28%、7.97%、6.28%。
应用于光伏逆变器、六氟化硫气箱、高压输变电开关柜等新能源及电力设备的精密金属结构件。
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