据南方财富网概念库数据显示，半导体设备零部件相关上市公司有：
至纯科技：
12月31日消息，至纯科技最新报价31.450元，3日内股价上涨4.74%；市盈率为507.26。
新凯来核心供应商，为其提供半导体清洗湿法工艺设备，双方在半导体设备供应链中深度绑定。
总股本3.19万股，流通A股2.6万股，每股收益0.06元。
新莱应材：
新莱应材最新报价56.890元，7日内股价下跌1.23%；市盈率为101.59。
公司全资子公司山东碧海包装材料有限公司，主营业务为用于牛奶及果汁等液态食品的纸铝塑复合无菌包装材料、液态食品无菌灌装机械及相关配套设备的研发、制造与销售，山东碧海已经拥有液态食品企业自建厂至投产的整体解决方案的能力，可以为液态食品企业提供前处理设备、灌装设备、后段包装设备、施工安装以及无菌包装材料等等在内的一体化服务。
新莱应材总股本2.27万股，流通A股1.52万股，每股收益0.56元。
正帆科技：
12月31日消息，正帆科技截至13时36分，该股涨3.67%，报31.630元，5日内股价上涨3.76%，总市值为93.03亿元。
公司暂不涉及第三代半导体材料生产，但公司服务众多头部客户中，有不少比例客户涉及第三代半导体领域。
公司总股本2.57万股，流通A股5696.84股，每股收益1.88元。
腾景科技：
截止12月31日14时35分，腾景科技(688195)涨0.75%，股价为169.550元，盘中股价最高触及175元，最低达164元，总市值219.31亿元。
在半导体设备领域，公司正在进行应用于光刻机光学系统的合分束器项目研发。
公司总股本1.29万股，流通A股2937.65股，每股收益0.54元。
旭光电子：
12月31日开盘消息，旭光电子（600353）涨0.69%，报16.120元，成交额4.31亿元，换手率3.23%，成交量2680.13万手。
公司是国家科技部、中国科学院认定的高新技术企业，也是“中国500家最大电子及通讯设备企业”之一。
公司总股本5.44万股，流通A股5.44万股，每股收益0.12元。
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