据南方财富网概念库数据显示，半导体设备精密零部件概念股有：
富创精密：
近5个交易日股价上涨9.56%，最高价为90.88元，总市值上涨了26.15亿，当前市值为273.57亿元。
新凯莱一级供应商，提供光刻机精密温控模块、真空传输机械臂，产品精度达0.1μm。公司是中国半导体设备精密零部件“一哥”，产品覆盖刻蚀、薄膜沉积、光刻等10大类设备，是国内唯一能量产7nm制程设备精密零部件的企业。客户包括应用材料、东京电子等国际巨头，技术认证壁垒极高。（逻辑不错，近期一直处于上行状态，当前市盈率比较高）。
正帆科技：公司总股本2.57万股，流通A股5696.84股，每股收益1.88元。
近5日股价上涨5.63%，2026年股价上涨8.14%。
拟5900万元与多方投资人共同对鸿舸半导体实施增资扩股。
神工股份：总股本1.6万股，流通A股8151.23股，每股收益0.24元。
近5日神工股份股价下跌0.16%，总市值下跌了2213.97万，当前市值为136.16亿元。2026年股价上涨6.74%。
中瓷电子：总股本1.49万股，流通A股3733.33股，每股收益1.2元。
近5个交易日股价上涨3.09%，最高价为83.23元，总市值上涨了11.28亿。
至纯科技：至纯科技总股本3.19万股，流通A股2.6万股，每股收益0.06元。
近5个交易日股价上涨4.65%，最高价为35.07元，总市值上涨了6.09亿，当前市值为131.09亿元。
拟定增募资不超18.6亿用于半导体晶圆再生二期等项目。
数据由南方财富网提供，仅供参考，不构成投资建议，据此操作，风险自担。
南方财富网声明：资讯仅代表作者个人观点。不保证该信息（包括但不限于文字、数据及图表）全部或者部分内容的准确性、真实性、完整性、有效性、及时性、原创性等，若有侵权，请第一时间告知删除。仅供投资者参考，并不构成投资建议。投资者据此操作，风险自担。