半导体装备龙头股上市公司有哪些？据南方财富网概念查询工具数据显示，半导体装备龙头股上市公司有：
至纯科技：半导体装备龙头
至纯科技2026年第一季度，公司总营收6.21亿，同比增长-14.7%；净利润-7885.31万，同比增长-232.76%。
以1.5亿元参投海河至汇其主投光电子及泛半导体相关领域。
5月13日该股主力资金净流入6837.55万元，超大单资金净流入4401.63万元，大单资金净流入2435.92万元，中单资金净流出1609.86万元，散户资金净流出5227.69万元。
晶盛机电：半导体装备龙头
晶盛机电2026年第一季度季报显示，公司实现营业总收入17.29亿，同比增长-44.88%；净利润1.03亿，同比增长-82.1%；每股收益为0.08元。
5月13日消息，晶盛机电主力资金净流入2.36亿元，超大单资金净流入3946.18万元，散户资金净流出2.26亿元。
拓荆科技：半导体装备龙头
拓荆科技2026年第一季度季报显示，公司实现营收11.12亿，同比增长56.97%；净利润5.71亿，同比增长488.29%；每股收益为2.03元。
5月13日该股主力净流出4690.83万元，超大单净流出5372.66万元，大单净流入681.83万元，中单净流入4879.6万元，散户净流出188.77万元。
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