截至5月17日，A股涉及半导体设备的上市公司具体分布情况为：主板的有43家、中小板的有31家、创业板的有59家、科创板的有53家。概念库为您整理了归属于半导体设备，并且在A股上市的公司。
3月25日半导体设备概念股票领涨股为：炬光科技
快捷前往不同板块的半导体设备概念上市公司股票： 主板、 中小板、 创业板、 科创板
主板半导体设备概念上市公司名单：
1、柏诚股份（601133）
2、圣晖集成（603163）
3、快克智能（603203）
4、洪田股份（603800）
5、至正股份（603991）
中小板半导体设备概念上市公司名单：
1、华亚智能（003043）
2、可立克（002782）
3、博杰股份（002975）
4、福晶科技（002222）
5、北方华创（002371）
创业板半导体设备概念上市公司名单：
1、劲拓股份（300400）
2、华康洁净（301235）
3、智立方（301312）
4、罗博特科（300757）
5、易天股份（300812）
科创板半导体设备概念上市公司名单：
1、炬光科技（688167）
2、中润光学（688307）
3、芯源微（688037）
4、新益昌（688383）
5、德龙激光（688170）
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