据南方财富网概念查询工具数据显示，高纯工艺设备上市公司龙头有：
至纯科技：
公司深刻认识到高纯工艺系统质量对于客户产品良率的重要影响，在设备制造与工程安装全过程都制定了严密的质量控制体系。
高纯工艺设备概念上市公司其他的还有：
正帆科技：正帆科技近7个交易日，期间整体下跌4.86%，最高价为33.08元，最低价为35.12元，总成交量4460.39万手。2026年来下跌-3.26%。
杭氧股份：近7个交易日，杭氧股份下跌7.41%，最高价为31.19元，总市值下跌了22.01亿元，下跌了7.41%。
新莱应材：回顾近7个交易日，新莱应材有2天下跌。期间整体下跌8.58%，最高价为54.36元，最低价为58.55元，总成交量9199.19万手。
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