据南方财富网概念查询工具数据显示，相关电子工艺装备概念股：
1、先导智能300450：10月15日15点，先导智能涨3.92%，报54.380元；5日内股价下跌15.67%，成交额48.22亿元，市值为851.68亿元。
从近三年ROE来看，近三年ROE复合增长为-67.11%，过去三年ROE最低为2024年的2.44%，最高为2022年的22.55%。
2、北方华创002371：10月15日消息，北方华创15点收盘报412.380元，涨2.71%，总市值为2986亿元，换手率1.5%，10日内股价下跌11.71%。
国内主流高端电子工艺装备供应商，也是重要的高精密电子元器件生产基地；公司主营半导体基础产品的研产销和技术服务，主要产品为电子工艺装备和电子元器件；半导体工艺装备领域，主要产品包括刻蚀、薄膜、清洗、热处理、晶体生长等核心工艺装备；电子元器件领域，主要产品包括石英晶体器件、石英微机电传感器、高精密电阻器、钽电容器、微波组件、模拟芯片、模块电源等产品。
从近三年ROE来看，北方华创近三年ROE复合增长为38.42%，过去三年ROE最低为2022年的12.96%，最高为2024年的24.83%。
3、拓荆科技688072：拓荆科技10月15日收报252.600元，涨1.86，换手率2.63%。
拓荆科技从近三年ROE来看，近三年ROE复合增长为3.66%，过去三年ROE最低为2022年的13.13%，最高为2023年的16.09%。
4、奥特维688516：10月15日收盘消息，奥特维（688516）股价报45.520元/股。7日内股价下跌11.93%，今年来涨幅上涨4.86%，成交总金额2.56亿元，成交量568.01万手。
从公司近三年ROE来看，近三年ROE复合增长为-8.49%，过去三年ROE最低为2024年的31.64%，最高为2023年的41.77%。
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