据南方财富网概念库数据显示，电子工艺装备题材的上市公司有：
迈为股份（300751）：
截至12月31日下午3点收盘，迈为股份报205.990元，涨7.23%，换手率9.02%，成交量1743.14万手，市值为575.55亿元。
回顾近30个交易日，迈为股份股价上涨48.05%，总市值上涨了86.7亿，当前市值为575.55亿元。
北方华创（002371）：
12月31日消息，北方华创5日内股价下跌3.08%，最新报459.080元，成交量854.62万手，总市值为3325.92亿元。
回顾近30个交易日，北方华创上涨7.77%，最高价为488.87元，总成交量2.21亿手。
中微公司（688012）：
12月31日消息，中微公司下午三点收盘报272.720元，总市值为1707.62亿元，10日内股价下跌2.37%。
近30日股价下跌9.96%。
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