据南方财富网概念库数据显示，电子工艺装备受益概念股有：
拓荆科技688072：在扣非净利润同比增长方面，从2021年到2024年，分别为-43.57%、317.14%、75.29%、14.1%。
近30日股价上涨13.77%，2026年股价下跌-3.5%。
先导智能300450：在速动比率方面，从2021年到2024年，分别为0.91%、0.77%、0.76%、0.78%。
近30日股价上涨12.85%，2026年股价上涨3.9%。
中微公司688012：在净利润方面，中微公司从2021年到2024年，分别为10.11亿元、11.7亿元、17.86亿元、16.16亿元。
近30日股价上涨21.89%，2026年股价上涨10.02%。
北方华创002371：2025年第三季度季报显示，公司营收111.6亿，同比增长38.31%；实现归母净利润19.22亿，同比增长14.6%；每股收益为2.66元。
公司主营电子工艺装备和电子元器件。国内主流高端电子工艺装备供应商。
回顾近30个交易日，北方华创股价上涨13.97%，总市值上涨了30.65亿，当前市值为3569.2亿元。2026年股价上涨3.2%。
东威科技688700：2025年第三季度，东威科技公司营收同比增长67.2%至3.14亿元，东威科技毛利润为1.13亿，毛利率36.09%，扣非净利润同比增长309.02%至4060.71万元。
在近30个交易日中，东威科技有13天上涨，期间整体上涨9.58%，最高价为38.19元，最低价为33.35元。和30个交易日前相比，东威科技的市值上涨了10.59亿元，上涨了9.58%。
晶盛机电300316：2025年第三季度季报显示，晶盛机电营业总收入同比增长-42.87%至24.74亿元，净利润同比增长-69.65%至2.62亿元。
在近30个交易日中，晶盛机电有13天上涨，期间整体上涨7.32%，最高价为42元，最低价为34.2元。和30个交易日前相比，晶盛机电的市值上涨了37.32亿元，上涨了7.32%。
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