据南方财富网概念查询工具数据显示，光刻机上市公司龙头股有：
东方嘉盛002889：龙头。近7日股价上涨4.2%，2025年股价下跌-24.09%。
公司2024年实现总营收35.58亿，同比增长31.79%。
公司上半年向深圳海关申请设立寄售维修保税仓库已获批通过，七月初公司已经中标，将与国际头部芯片光刻机厂商合作，共同在深圳建设寄售维修保税仓库，为华南片区集成电路制造企业提供全天候快速响应的光刻机寄售维修服务。
华懋科技603306：龙头。回顾近7个交易日，华懋科技有4天上涨。期间整体上涨6.95%，最高价为48.48元，最低价为55.3元，总成交量1.04亿手。
2024年公司营业收入22.13亿，同比增长7.67%。
光刻机概念股其他的还有：
长电科技：9月23日消息，长电科技5日内股价上涨1.1%，最新报39.200元，成交量8920.61万手，总市值为701.45亿元。
旭光电子：9月23日旭光电子消息，该股14时40分报16.840元，跌3.48%，换手率4.79%，成交量3966.44万手，今年来上涨57.13%。
东材科技：9月23日开盘消息，东材科技最新报21.900元，跌3.86%。成交量8654.49万手，总市值为222.97亿元。
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